20世纪80 ~ 90年代以来，随着半导体制造、精细化工、纳米技术、生物医学等领域的快速发展，气体流量测量向小微方向发展，对小微流量的需求日益突出。目前用于微流量测量的测量仪器主要有电子皂膜流量计、活塞式根据密封方式的不同，可分为石墨和汞)等。而电子皂膜流量计成本低，使用方便，广泛应用于工业生产、理化分析、科学实验等各个领。

电子皂膜流量计有温度、压力、体积校正功能。用户可以通过现场自校正，同时得到被测气体的质量流量和体积流量，并进行统计计算。它适用于任何气体流量的检测。电子皂膜流量计主要如下：

1.适用于校准方法。将密封的皂液回收杯一直放在电子秤上，读出蒸馏水排出过程中皂膜管内液面位于下刻度线和上刻度线时的质量差，从而计算出标准体积。避免了常规标定带来的液位弧度变化，无需反复移动肥皂回收杯，减少了操作带来的误差;在校准过程中，校准可以通过流量控制管和控制阀来控制，有效控制液体的分辨率可以达到0 .005ml，比常规控制高10倍。

2.还具有皂液回收功能，有效避免了皂液回流带来的附加误差，提高了皂膜流量计的准确度。同时避免了皂液的挥发和浪费。电子皂膜流量计正常运行后，可实现封闭运行，避免外界因素对流量计的影响。

3.常规电子皂膜流量计有0 .5的水平，而电子皂膜流量计减少了操作过程中的影响因素，提高了标准体积的标定，避免了附加误差的影响，提高了流量计的，可以达到0.2。

4.采用通讯装置原理，实现了自动开膜方式，弥补了人工开膜的缺陷，减少了检定误差，提高了检定效率。

电子皂膜流量计其准确性远优于用眼睛和手捏秒表间接判断。用户可以通过选择不同量程的探头和玻璃管来测量0.1 ml/min至50 l/min范围内的气体或液体流量，电路控制单元本身可以实现多量程转换，因此具有广泛的应用范围。仪器本身具有校准功能，用户可以现场自行校准。操作方便可靠，经测试各项指标均满足要求。